προϊόντα Αναζήτηση
Κατηγορίες Προϊόντων

Πρότυπα παραφίνης

Η απόθεση σωματιδίων χρησιμοποιείται για την εναπόθεση σφαιριδίων PSL και σωματιδίων πυριτίας σε δίσκους 150mm έως 300mm για βαθμονόμηση μεγέθους των εργαλείων SSL KLA-Tencor Surfscan SSIS.

Τα πρότυπα PSL Wafer και τα πρότυπα Silica Particle Wafer παράγονται με ένα σύστημα εναπόθεσης σωματιδίων, το οποίο θα αναλύσει πρώτα μια κορυφή μεγέθους PSL ή μια κορυφή μεγέθους πυριτίας με έναν αναλυτή διαφορικής κινητικότητας (DMA). Το DMA είναι ένα εξαιρετικά ακριβές εργαλείο σάρωσης σωματιδίων, σε συνδυασμό με τον μετρητή σωματιδίων συμπύκνωσης και τον έλεγχο του υπολογιστή για την απομόνωση μιας υψηλής ακρίβειας κορυφής μεγέθους, με βάση τη βαθμονόμηση μεγέθους σωματιδίων NIST. Μόλις επαληθευτεί η κορυφή μεγέθους, το ρεύμα μεγέθους σωματιδίων κατευθύνεται προς την πρωταρχική επιφάνεια πυριτίου, γκοφρέτα. μετράται ως έχει κατατεθεί σε πλήρη εναπόθεση σε ολόκληρη τη γκοφρέτα, ή ως απόθεση σε συγκεκριμένες τοποθεσίες γύρω από τη γκοφρέτα. Τα πρότυπα Wafer είναι εξαιρετικά ακριβή σε μέγεθος σωματιδίων για βαθμονόμηση KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE, Hitachi και εργαλεία Topcon SSIS και συστήματα επιθεώρησης γκοφρετών. - Το σύστημα εναπόθεσης σωματιδίων 2300 XP1 μπορεί να καταθέσει σε γκοφρέτες 150mm, 200mm και 300mm χρησιμοποιώντας PSL Spheres ή σωματίδια πυριτίας από 30nm έως 2um.

Ανάλυση διαφορικής κινητικότητας, Σάρωση τάσης DMA, Μέγιστη κορυφή πυριτίου, 100nm
Ανάλυση διαφορικής κινητικότητας, τάση DMA, κορυφή μεγέθους πυριτίου στο 100nm
Τα πρότυπα μεγέθους PSL σφαιρών και τα πρότυπα μεγέθους πυριτίου σαρώνονται από έναν αναλυτή κινητικής διαφορικής μέτρησης για τον προσδιορισμό της πραγματικής κορυφής μεγέθους. Μόλις αναλυθεί η κορυφή μεγέθους, τότε το πρότυπο πλακιδίου μπορεί να εναποτεθεί ως πλήρης εναπόθεση ή εναπόθεση κηλίδας, ή πρότυπα πλακών εναπόθεσης πολλαπλών σημείων. Η κορυφή μεγέθους πυριτίου σε νανομετρικούς μετρητές 100 (microns 0.1) σαρώθηκε παραπάνω και η DMA ανιχνεύει μια πραγματική κορυφή μεγέθους πυριτίου στο 101nm.

Πλήρης εναπόθεση ή επιτόπια απόθεση

Ζητήστε μια προσφορά
Ένα σύστημα εναπόθεσης σωματιδίων παρέχει εξαιρετικά ακριβή πρότυπα για τα βαρίδια PSL Calibration Wafer και τα πρότυπα για τα βαμβάκι με μόλυνση από πυρίτιο.

Το σύστημα απόθεσης σωματιδίων 2300 XP1 προσφέρει αυτόματο έλεγχο εναπόθεσης σωματιδίων για την παραγωγή των προτύπων PSF Wafer Standards και των προδιαγραφών Wafer Silica.

Εφαρμογές εναπόθεσης σωματιδίων
Η ανάλυση μεγέθους και η ταξινόμηση NIST με ανιχνευτή DMA (ανάλυσης διαφορικής κινητικότητας) υψηλής ανάλυσης υπερβαίνουν τα νέα πρότυπα SEMI M52, M53 και M58 για την ακρίβεια μεγέθους PSL και το πλάτος κατανομής μεγέθους
Αυτόματη βαθμονόμηση μεγέθους εναπόθεσης σε 60nm, 100nm, 269nm και 900nm
Τεχνολογία Advanced Analyzer Mobility Analysis (DMA) με αυτόματη αντιστάθμιση θερμοκρασίας και πίεσης για βελτιωμένη σταθερότητα του συστήματος και ακρίβεια μέτρησης
Η διαδικασία αυτόματης εναπόθεσης παρέχει πολλαπλές εναποθέσεις σημείων σε ένα δισκίο
Πλήρεις παρακαμπτήριες πλάκες σε όλη την επιφάνεια του δίσκου. ή Spot τοποθετήσεις σε οποιαδήποτε θέση στο δίσκο
Υψηλή ευαισθησία που επιτρέπει σφαίρα PSL και απόθεση σωματιδίων διοξειδίου του πυριτίου από 20nm σε 2um
Τοποθετήστε σωματίδια πυριτίας για τη βαθμονόμηση των συστημάτων επιθεώρησης των πλακιδίων σας χρησιμοποιώντας υψηλής ισχύος σάρωση με λέιζερ
Καταθέστε σφαίρες PSL για τη βαθμονόμηση των συστημάτων επιθεώρησης των πλακιδίων σας χρησιμοποιώντας χαμηλής ισχύος σάρωση με λέιζερ
Τοποθετήστε σφαίρες PSL και σωματίδια πυριτίας σε πρότυπα πλακών πυριτίου πρώτης ύλης ή φωτογραφικές μάσκες 150mm.

Τυποποιημένο τσαγιού PSL Standard, Πρότυπο για την επικάλυψη με σιλικόνη
Τα εργαλεία απόθεσης σωματιδίων χρησιμοποιούνται για την εναπόθεση ενός πολύ ακριβούς προτύπου μεγέθους PSL ή ενός προτύπου μεγέθους σωματιδίων διοξειδίου του πυριτίου στο πρότυπο πλακιδίων για τη βαθμονόμηση μιας ποικιλίας συστημάτων επιθεώρησης πλακών.

PSL Calibration Wafer Πρότυπο για τη βαθμονόμηση των συστημάτων επιθεώρησης πλακών χρησιμοποιώντας ένα χαμηλής ισχύος τροφοδοτικό με λέιζερ για τη σάρωση πλακών.
Πυρίτιο για το ρύπανση από σίλικα Πρότυπο για τη βαθμονόμηση των συστημάτων επιθεώρησης πλακών χρησιμοποιώντας ένα υψηλής ισχύος λέιζερ για να σαρώσετε γκοφρέτες.
Μάσκες βαθμονόμησης Standard ή Μάσκες πυριτίου Standard
Ζητήστε μια προσφορά
Το 2300 XP1 μας καταθέτει πρότυπα NIST Traceable, Certified mask για τις μάσκες βοριοπυριτικής 125mm και 150mm.

Μάσκα βαθμονόμησης PSL Standard στις μάσκες 125mm
Πρότυπο μόλυνσης με πυρίτιο σε μάσκες 150mm

Μεταφράζω "