Applied Physics ΗΠΑ

Χάντρες από λατέξ πολυστυρενίου, πρότυπα μεγέθους σωματιδίων
Applied Physics ΗΠΑ: PSL Spheres, Polystyrene Micro-Spheres, Particle Size Standards

Applied Physics Οι ΗΠΑ παρέχουν PSL Spheres και σφαιρίδια πολυστυρενίου ως πρότυπα μεγέθους σωματιδίων για τη βαθμονόμηση οργάνων αεροζόλ. Τα εργαλεία επιθεώρησης Wafer, όπως τα KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE και Hitachi απαιτούν επίσης βαθμονόμηση μεγέθους, η οποία επιτυγχάνεται με τη χρήση σφαιρών λατέξ από πολυστυρένιο. Οι σφαίρες PSL, οι μικροσφαίρες από πολυστυρένιο και τα σφαιρίδια, παρέχονται σε μεγέθη από 20 nm έως 10 μικρά για τη βαθμονόμηση των καμπυλών απόκρισης μεγέθους των αντίστοιχων συστημάτων επιθεώρησης πλακιδίων και μετρητών σωματιδίων λέιζερ. Οι σφαίρες PSL από 20 nm έως περίπου 5 μικρά χρησιμοποιούνται τυπικά για τη βαθμονόμηση της απόκρισης μεγέθους των μετρητών σωματιδίων λέιζερ. Οι μικροσφαίρες πολυστυρενίου μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την παραγωγή προτύπων βαθμονόμησης και προτύπων πλακιδίων σωματιδίων, τα οποία χρησιμοποιούνται για τη βαθμονόμηση της απόκρισης μεγέθους των εργαλείων KLA-Tencor Surfscan και των παλαιότερων εργαλείων Tencor Surfscan

 

Applied Physics ΗΠΑ

Μπορείτε να παραγγείλετε χάντρες από λατέξ από πολυστυρένιο τηλεφωνώντας Applied Physics στο (719) 428-4042.

Τα συστήματα επιθεώρησης πλακών, που αναφέρονται ως συστήματα επιθεώρησης επιφάνειας σάρωσης, SSIS, κυρίως από την KLA-Tencor και την Hitachi, βαθμονομούνται με χρήση των προτύπων Wafer PSL, τα οποία είναι γκοφρέτες Prime Silicon που εναποτίθενται με σφαίρες PSL σε συγκεκριμένα μεγέθη και περιορισμένη κατανομή μεγέθους. Τα εργαλεία επιθεώρησης γκοφρέτας χρησιμοποιούνται για την επιθεώρηση της καθαρότητας των επιφανειών γκοφρέτας 300 mm, 200 mm, 150 mm. γυμνό πυρίτιο ή εναποτιθέμενο φιλμ, επιφάνεια γκοφρέτας. Το SSIS μπορεί να αναγνωρίσει τη θέση Χ/Υ των σφαιρών και σωματιδίων PSL, να περιγράψει το μέγεθος κάθε ελαττώματος καθώς και να συνοψίσει έναν συνολικό αριθμό σωματιδίων στην επιφάνεια του πλακιδίου. Τα συστήματα επιθεώρησης γκοφρετών KLA-Tencor, όπως τα Tencor 6200, 6420 και τα KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 και KLA-Tencor SP3, χρησιμοποιούνται σε όλη τη βιομηχανία ημιαγωγών για αυτήν την εφαρμογή. Η Topcon διαθέτει τα συστήματα επιθεώρησης γκοφρετών της σειράς 3000, 5000 και 7000. Η Estek, η ADE, η Aeronca και η Hitachi παρέχουν επίσης μια ποικιλία συστημάτων επιθεώρησης γκοφρετών. Σχεδόν κάθε SSIS που παράγεται σήμερα είναι πλέον σε θέση να ανιχνεύσει ευαισθησία μεγέθους σωματιδίων στα 30 nm ή καλύτερη. Οι σφαίρες PSL χρησιμοποιούνται για να αναπαραστήσουν τα πρότυπα μεγέθους σωματιδίων στην επιφάνεια του πλακιδίου. Applied Physics προσφέρει μεγέθη PSL Sphere από 20 nm έως 160 microns για βαθμονόμηση μεγέθους, δοκιμές φίλτρου HEPA κ.λπ. Μπορείτε να παραγγείλετε Sphere PSL καλώντας Applied Physics στο (719) 428-4042.

Οι σφαίρες PSL χρησιμοποιούνται με τα συστήματα εναπόθεσης σιαγόνων PSL για την παραγωγή προτύπων PSF Wafer, τα οποία επίσης αναφέρονται ως πρότυπα για τα τεμαχισμένα σωματίδια. Και στις δύο περιπτώσεις, μετά την παραγωγή του προτύπου PSL Wafer, τοποθετείται στη συνέχεια σε ένα σύστημα επιθεωρήσεως γκοφρέτας και ανιχνεύεται με ένα μόνο SSIS λέιζερ ή με διπλή SSIS λέιζερ. Η πραγματική απόκριση μεγέθους PSL συγκρίνεται με την απόκριση μεγέθους SSIS. Εάν οι δύο κορυφές δεν ταιριάζουν, η SSIS πρέπει να βαθμονομηθεί. Τα σφαιρίδια PSL υψηλής συγκέντρωσης είναι για συστήματα 2300XP1, 2300 NPT-1, 2300NPT-2 και M2300G3.

PSL σφαίρες, συγκέντρωση 1%.

Τα προ-αναμεμιγμένα PSL σφαιρίδια έρχονται σε ένα φιαλίδιο 50ml, μονοδιάστατου μεγέθους (διανομή μεγέθους 1), και παρέχονται από περίπου 47nm σε μέγεθος 950nm. Αυτό το διάλυμα PSL χύνεται απευθείας στο δοχείο ψεκασμού ή ψεκασμού. Το προ-αναμεμιγμένο είναι ένας βολικός τρόπος για την αγορά των σφαιριδίων από λατέξ πολυστυρενίου, αφού όλη η αραίωση έχει επιτευχθεί με πολύ ομοιόμορφο τρόπο, χωρίς μους, χωρίς αναστάτωση, επιτρέποντας στον χρήστη να μην ασχοληθεί με την ανάμιξη των σφαιριδίων από λατέξ πολυστυρενίου χρησιμοποιώντας ποτήρια, DI νερό και δίσκους υπερήχων. Το μη αναμεμιγμένο υλικό PSL παρέχεται σε φιάλη 15ml, μονοδιασπαρμένη σε μέγεθος (κατανομή μεγέθους 1) και συνήθως σε συγκέντρωση 1%. Αυτά τα σφαιρίδια PSL παρέχονται σε ένα ευρύ φάσμα μεγεθών, αλλά για τους σκοπούς μας, από το 20nm έως το 4um σε μέγεθος. Το υλικό PSL πρέπει να αναμιχθεί με την κατάλληλη αραίωση ή να είναι συγκεντρωμένο ή πολύ αδύναμο για να παράσχει αποτελεσματικά αποτελέσματα όταν προσπαθεί να εναποθέσει ένα από τα παραπάνω Συστήματα Αποθέσεως Wafer PSL. Σύνδεσμος CleanRoom Foggers