Πρότυπα μεγέθους σωματιδίων πυριτίου

Στα σημερινά εργαστήρια μετρολογίας ημιαγωγών, τα εργαλεία επιθεώρησης γκοφρετών χρησιμοποιούν λέιζερ υψηλής ισχύος για σάρωση πλακιδίων πυριτίου 200 mm και 300 mm για την ανίχνευση σωματιδίων επιφανείας έως <30 νανόμετρα. Κατά τη βαθμονόμηση συστημάτων σάρωσης υψηλής ισχύος με λέιζερ, η βαθμονόμηση μεγέθους είναι εξαιρετικά σημαντική, προκειμένου να ανιχνευθεί στα 30 nm. και για το ακριβές μέγεθος σωματιδίων σε όλο το εύρος μεγεθών. Η βαθμονόμηση μεγέθους χρησιμοποιώντας λέιζερ υψηλής ισχύος και παραδοσιακή σφαίρα λατέξ πολυστυρολίου για βαθμονομήσεις μπορεί να είναι δύσκολη, καθώς η υψηλή ισχύς λέιζερ μπορεί να συρρικνώσει τις σφαίρες λατέξ. Το διάλυμα χρησιμοποιεί σωματίδια πυριτίας, πρότυπα μεγέθους στα 20 nm, 30 nm, 50 nm, 100 nm, 500 nm, 1 μm και 2 μm. Το πλεονέκτημα είναι ότι το διοξείδιο του πυριτίου δεν θα συρρικνωθεί κάτω από την υψηλή ισχύ λέιζερ, παρέχοντας έτσι σταθερά μια ακρίβεια μέγιστου μεγέθους για βαθμονόμηση. και τα σωματίδια διοξειδίου του πυριτίου έχουν πολύ στενό δείκτη διάθλασης σε σύγκριση με σωματίδια λατέξ πολυστερίνης. Πρότυπα για τα βαμβάκι με μόλυνση από πυρίτιο; Πρότυπα μεγέθους σωματιδίων πυριτίου