Τι είναι τα πρότυπα μεγέθους σωματιδίων Surf-Cal;
Τα πρότυπα Surf-Cal αποτελούνται από λάτεξ πολυστυρενίου (PSL) μικροσφαίρες αιωρούμενα σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό. Αυτές οι μικροσφαίρες ταξινομούνται με εξαιρετική ακρίβεια χρησιμοποιώντας Αναλυτή Διαφορικής Κινητικότητας (DMA) ή άλλες τεχνικές αποκλεισμού μεγέθους, με αποτέλεσμα εξαιρετικά αυστηρές κατανομές μεγέθους.
Κάθε προϊόν συνοδεύεται από ιχνηλασιμότητα NIST, παρέχοντας την αξιοπιστία και τη συνέπεια που απαιτούνται για κρίσιμες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών.
Τα πρότυπα χρησιμεύουν ως υλικά αναφοράς για τη βαθμονόμηση και την παρακολούθηση της απόδοσης εργαλείων επιθεώρησης πλακιδίων από κατασκευαστές όπως οι KLA-Tencor, Hitachi, ADE και Topcon.
Εναποθέτοντας αυτά τα ακριβούς μεγέθους σωματίδια Σε πυριτίου και πλακίδια με μοτίβο, οι μηχανικοί μπορούν να επαληθεύσουν ότι τα συστήματα επιθεώρησής τους ανιχνεύουν σωστά σωματίδια συγκεκριμένων μεγεθών.
Βασικά Χαρακτηριστικά και Προδιαγραφές
Διαθέσιμα μεγέθη σωματιδίων
Τα πρότυπα Surf-Cal διατίθενται σε ένα ευρύ φάσμα εύρος διαμέτρων σωματιδίων, από 0.047 μm έως 3.04 μm, καλύπτοντας το φάσμα των κρίσιμων μεγεθών σωματιδίων που σχετίζονται με τη σύγχρονη κατασκευή ημιαγωγών.
Κάθε παραλλαγή μεγέθους προσφέρει αυστηρά ελεγχόμενη κατανομή μεγέθους, συνήθως μεταξύ 0.003 μm και 0.026 μm, ανάλογα με τη διάμετρο των σωματιδίων.
Μερικά από τα πιο δημοφιλή μεγέθη σωματιδίων περιλαμβάνουν:
- 0.047 μm (47 nm) – Κρίσιμο για ημιαγωγούς αιχμής
- 0.100 μm (100 nm) – Συνήθως χρησιμοποιούμενο σημείο αναφοράς
-
Σχετικές αναρτήσεις
