Surf-Cal, Πρότυπα μεγέθους σωματιδίων, όγκος 50 ml, προαναμεμιγμένο σε 1x10E8 και 1x10E10 Συγκέντρωση / ml

Πρότυπα μεγέθους σωματιδίων SURF-CAL™ που χρησιμοποιούνται στη βαθμονόμηση μεγέθους και την παρακολούθηση Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών σάρωσης (SSIS). Τα παρακάτω μεγέθη σωματιδίων αντιστοιχούν στα μεγέθη σωματιδίων βαθμονόμησης που απαιτούνται από τους κατασκευαστές οργάνων. Θα πρέπει να ολοκληρώνετε περιοδικούς ελέγχους βαθμονόμησης και εβδομαδιαία παρακολούθηση μεγέθους και μέτρησης για να διασφαλίσετε ότι ο σαρωτής επιθεώρησης πλακιδίων συγκρίνεται με σαρωτές σε άλλες τοποθεσίες. Όλες οι μικροσφαίρες πολυστυρενίου εναιωρούνται σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό σε όγκο φιάλης 50 mL σε συγκέντρωση 3 × 10 E8 ή 1 × 10 σωματίδια Ε10 ανά mL. Τα μεγέθη που σημειώνονται με * είναι παρόμοια με τα σωματίδια NIST SRM σε αυτή τη διάμετρο. Ο δείκτης διάθλασης είναι 1.59 @ 589 nm (25 C) για όλες τις παρακάτω μικροσφαίρες πολυστυρενίου. Κάθε φιάλη είναι σταθερή για 12 μήνες και συσκευάζεται με Πιστοποιητικό Βαθμονόμησης και Ιχνηλασιμότητας στο NIST.

Με την εναπόθεση σφαιρών SURF-CAL, NIST ανιχνεύσιμων PSL (λάτεξ πολυστυρενίου) σε γκοφρέτες γυμνού πυριτίου και μοτίβων, μπορείτε να πραγματοποιείτε περιοδικούς ελέγχους βαθμονόμησης μεγέθους στα εργαλεία KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS και να συγκρίνετε τον σαρωτή επιθεώρησης πλακιδίων με σαρωτές στο άλλες τοποθεσίες. Μπορείτε επίσης να αξιολογήσετε την απόδοση του SSIS σας σε κρίσιμα στάδια της διαδικασίας κατασκευής. Όλα τα προϊόντα εναιωρούνται σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό (DI water) σε φιάλες των 50 mL σε συγκέντρωση 3 x10 e10 σωματίδια/mL ή 1 x10 e10 σωματίδια/mL. Αυτά τα πρότυπα μεγέθους σωματιδίων Surf-Cal είναι μικροσφαίρες πολυστυρενίου που έχουν προσδιοριστεί με βάση τον Αναλυτή Διαφορικής Κινητικότητας (DMA) ή άλλες τεχνικές αποκλεισμού μεγέθους.

Μέθοδος μέτρησης:

Για να εξασφαλιστεί η ιχνηλασιμότητα του NIST, οι πιστοποιημένες διάμετροι αυτών των προϊόντων μεταφέρθηκαν με ηλεκτρονικό ή οπτικό μικροσκόπιο μετάδοσης από πρότυπα υλικά αναφοράς NIST (2). Η αβεβαιότητα υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας NIST Technical Note 1297, 1994 Edition "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results" (4). Η αβεβαιότητα που αναφέρεται είναι η διευρυμένη αβεβαιότητα με συντελεστή κάλυψης δύο (K=2). Η διάμετρος κορυφής υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας περίπου το εύρος ± 2s της κατανομής μεγέθους σωματιδίων. Η κατανομή μεγέθους υπολογίστηκε ως η τυπική απόκλιση (SDS) ολόκληρης της κορυφής. Ο Συντελεστής Μεταβολής (CV) είναι μια τυπική απόκλιση εκφρασμένη ως ποσοστό της διαμέτρου κορυφής. Η κατανομή FWHM (πλήρες πλάτος στο μισό μέγιστο) υπολογίστηκε ως η κατανομή στο μισό του ύψους της κορυφής εκφρασμένη ως ποσοστό της διαμέτρου της κορυφής.

1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Semiconductor Industry Association (1999)

2. SD Duke και EB Layendecker, "Internal Standard Method for Size Calibration of Sub-Micron Spherical Particles by Electron Microscopy", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Οδηγός για την Καθορισμός Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών για Γκοφρέτες Σιλικόνης Η Παραγωγή Τεχνολογίας 130 nm.

4. Barry N. Taylor και Chris E. Kuyatt, "Guidelines for Evaluating and Expressing the Uncertainty of NIST Measurement Results". NIST Technical Note 1297, έκδοση 1994, Σεπτέμβριος 1994.