Πρότυπα μεγέθους σωματιδίων SURF-CAL™ που χρησιμοποιούνται στη βαθμονόμηση μεγέθους και την παρακολούθηση των Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών Σάρωσης (SSIS). Τα παρακάτω μεγέθη σωματιδίων αντιστοιχούν στα μεγέθη σωματιδίων βαθμονόμησης που απαιτούνται από το i…
Εύρος τιμών: 495.00$ έως 1,930.00$
Πρότυπα μεγέθους σωματιδίων SURF-CAL™ που χρησιμοποιούνται στη βαθμονόμηση μεγέθους και την παρακολούθηση Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών σάρωσης (SSIS). Τα παρακάτω μεγέθη σωματιδίων αντιστοιχούν στα μεγέθη σωματιδίων βαθμονόμησης που απαιτούνται από τους κατασκευαστές οργάνων. Θα πρέπει να ολοκληρώνετε περιοδικούς ελέγχους βαθμονόμησης και εβδομαδιαία παρακολούθηση μεγέθους και μέτρησης για να διασφαλίσετε ότι ο σαρωτής επιθεώρησης πλακιδίων συγκρίνεται με σαρωτές σε άλλες τοποθεσίες. Όλες οι μικροσφαίρες πολυστυρενίου εναιωρούνται σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό σε όγκο φιάλης 50 mL σε συγκέντρωση 3 × 10 E8 ή 1 × 10 σωματίδια Ε10 ανά mL. Τα μεγέθη που σημειώνονται με * είναι παρόμοια με τα σωματίδια NIST SRM σε αυτή τη διάμετρο. Ο δείκτης διάθλασης είναι 1.59 @ 589 nm (25 C) για όλες τις παρακάτω μικροσφαίρες πολυστυρενίου. Κάθε φιάλη είναι σταθερή για 12 μήνες και συσκευάζεται με Πιστοποιητικό Βαθμονόμησης και Ιχνηλασιμότητας στο NIST.
Με την εναπόθεση σφαιρών SURF-CAL, NIST ανιχνεύσιμων PSL (λάτεξ πολυστυρενίου) σε γκοφρέτες γυμνού πυριτίου και μοτίβων, μπορείτε να πραγματοποιείτε περιοδικούς ελέγχους βαθμονόμησης μεγέθους στα εργαλεία KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS και να συγκρίνετε τον σαρωτή επιθεώρησης πλακιδίων με σαρωτές στο άλλες τοποθεσίες. Μπορείτε επίσης να αξιολογήσετε την απόδοση του SSIS σας σε κρίσιμα στάδια της διαδικασίας κατασκευής. Όλα τα προϊόντα εναιωρούνται σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό (DI water) σε φιάλες των 50 mL σε συγκέντρωση 3 x10 e10 σωματίδια/mL ή 1 x10 e10 σωματίδια/mL. Αυτά τα πρότυπα μεγέθους σωματιδίων Surf-Cal είναι μικροσφαίρες πολυστυρενίου που έχουν προσδιοριστεί με βάση τον Αναλυτή Διαφορικής Κινητικότητας (DMA) ή άλλες τεχνικές αποκλεισμού μεγέθους.
Αριθμός Μέρος |
Συγκέντρωση Αρίθμηση/ml |
Διάμετρος σωματιδίων |
Κατανομή μεγέθους |
Τιμή ανά φιάλη 50 ml |
| APPD-047 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.047 μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| APPD-047B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.047 μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| APPD-064 | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.064 μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| APPD-064B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.064 μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| APPD-083 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.083 μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-083B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.083 μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-092 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.092 μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-092B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.092 μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-100 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.100 μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-100B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.100 μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-125 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.126 μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-125B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.126 μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-155 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.155 μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-155B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.155 μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-200 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.202 μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-200B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.202 μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-204 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.204 μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-204B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.204 μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-215 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.220 μm | 0.003μm |
$ 495.00 |
| AP PD-215B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.220 μm | 0.003μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-305 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.304 μm | 0.004μm |
$ 495.00 |
| AP PD-305B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.304 μm | 0.004μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-365 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.360 μm | 0.005μm |
$ 495.00 |
| AP PD-365B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.360 μm | 0.005μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-500 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.498 μm | 0.006μm |
$ 495.00 |
| AP PD-500B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.498 μm | 0.006μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-809 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.809 μm | 0.006μm |
$ 495.00 |
| AP PD-809B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.809 μm | 0.006μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ-802 | X 3 108 σωματίδια/mL | 0.802 μm | 0.009μm |
$ 495.00 |
| AP PD-802B | X 1 1010 σωματίδια/mL | 0.802 μm | 0.009μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ1100 | X 3 108 σωματίδια/mL | 1.112 μm | 0.011μm |
$ 495.00 |
| ΑΠ ΠΔ1100Β | X 1 1010 σωματίδια/mL | 1.112 μm | 0.011μm |
$1,930.00 |
| ΑΠ ΠΔ1600 | X 3 108 σωματίδια/mL | 1.59 μm | 0.016μm | $ 495.00 |
| ΑΠ ΠΔ2000 | X 3 108 σωματίδια/mL | 2.01 μm | 0.019μm | $ 495.00 |
| ΑΠ ΠΔ3000 | X 3 108 σωματίδια/mL | 3.04 μm | 0.026μm | $ 495.00 |
Για να διασφαλιστεί η ανιχνευσιμότητα NIST, οι πιστοποιημένες διάμετροι αυτών των προϊόντων μεταφέρθηκαν με ηλεκτρονικό σύστημα μετάδοσης ή οπτική μικροσκοπία από τυποποιημένα υλικά αναφοράς NIST (2). Η αβεβαιότητα υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας την τεχνική σημείωση NIST 1297, έκδοση 1994, "Οδηγίες για την αξιολόγηση και την έκφραση της αβεβαιότητας των αποτελεσμάτων μέτρησης NIST" (4). Η αναφερόμενη αβεβαιότητα είναι η διευρυμένη αβεβαιότητα με συντελεστή κάλυψης δύο (K = 2). Η διάμετρος κορυφής υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας περίπου το εύρος ± 2s της κατανομής μεγέθους σωματιδίων. Η κατανομή μεγέθους υπολογίστηκε ως η τυπική απόκλιση (SDS) ολόκληρης της κορυφής. Ο Συντελεστής Παραλλαγής (CV) είναι μία τυπική απόκλιση εκφρασμένη ως ποσοστό της μέγιστης διαμέτρου. Η κατανομή FWHM (πλήρες πλάτος στο μισό μέγιστο) υπολογίστηκε ως η κατανομή στο μισό του ύψους κορυφής εκφρασμένη ως ποσοστό της διαμέτρου κορυφής.
1. «Ο εθνικός οδικός χάρτης για τους ημιαγωγούς», Ένωση βιομηχανιών ημιαγωγών (1999)
2. SD Duke και EB Layendecker, «Μέθοδος εσωτερικής τυποποίησης για βαθμονόμηση μεγέθους των σφαιρικών σωματιδίων Sub-Micron με ηλεκτρονική μικροσκοπία», Fine Particle Society (1988)
3. SEMI M52 - Οδηγός για την Καθορισμός Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών για Γκοφρέτες Σιλικόνης Η Παραγωγή Τεχνολογίας 130 nm.
4. Barry N. Taylor και Chris E. Kuyatt, «Κατευθυντήριες γραμμές για την αξιολόγηση και την έκφραση της αβεβαιότητας των αποτελεσμάτων μέτρησης NIST». NIST Τεχνική σημείωση 1297, έκδοση 1994, Σεπτέμβριος 1994.
| Αριθμός Μέρος | APPD-047, APPD-047B, APPD-064, APPD-064B, APPD-083, AP PD-083B, AP PD-092, AP PD-092B, AP PD-100, AP PD-100B, AP PD5AP-2AP PD-155, AP PD-155B, AP PD-200, AP PD-200B, AP PD-204, AP PD-204B, AP PD-215, AP PD-215B, AP PD-305, AP PD-305B, PD-35, PDAP AP PD-500, AP PD-500B, AP PD-809, AP PD-809B, AP PD-802, AP PD-802B, AP PD1100, AP PD1100B, AP PD1600, AP PD2000, AP PD3000 |
|---|
