Πλήρης εναπόθεση  |  Επιτόπου εναπόθεση  |   Πυριτικό υλικό για τη ρύπανση από καουτσούκ Πρότυπο για βαθμονόμηση KLA-Tencor Surscan, Hitachi SEM και Hitachi TEM εργαλεία  |

Πρότυπο για το ρύγχος ρύπανσης

Το Πρότυπο Παρεμβάσεων για το Πρόβλημα είναι ένα NIST ανιχνεύσιμο πρότυπο πλακιδίων σωματιδίων με Συμπεριλαμβανόμενο Πιστοποιητικό Μέγεθος, εναποτιθέμενο με μονοδιεσπαρμένα νανοσωματίδια διοξειδίου του πυριτίου και μέγιστη αιχμή μεγέθους μεταξύ των μικρομέτρων 40nm και 2 για τη βαθμονόμηση των καμπυλών απόκρισης μεγέθους KLA-Tencor Surfscan SP3, SP5 SP5xp συστήματα και συστήματα Hitachi SEM και TEM. Αυτό το πρότυπο σιλικόνης Wafer κατατίθεται ως πλήρης εναπόθεση με ένα μοναδικό μέγεθος σωματιδίων σε όλο το δισκίο. ή να κατατεθεί ως εναπόθεση SPOT με 1 ή περισσότερα πρότυπα μεγέθους σωματιδίων ακριβώς τοποθετημένα γύρω από το δίσκο.

Τυποποιημένο στρώμα σωματιδίων, Νανοσωματίδια πυριτίας - Ζητήστε μια προσφορά

Ένα πρότυπο βαμβακερού υλικού μπορεί να εναποτεθεί ως πλήρης εναπόθεση ή εναπόθεση κηλίδων πάνω σε γκοφρέτα πυριτίου πρώτης ύλης με ένα στενό μέγεθος κορυφής των προτύπων μεγέθους σωματιδίων. Το nanometr 40 σε πρότυπα πλακών σωματιδίων 2um μπορεί να εφοδιαστεί με 1 ή περισσότερες εναποθέσεις σημείων γύρω από το πλακίδιο με ελεγχόμενο αριθμό σωματιδίων μεταξύ 1000 και 2500 ανά κατατεθειμένο μέγεθος. Η πλήρης απόθεση σε ολόκληρη την κάψουλα παρέχεται επίσης με αριθμούς σωματιδίων που κυμαίνονται από σωματίδια 5000 έως 10000 σε όλη την πλάκα. Τα πρότυπα για τα βαμβακερά υπολείμματα πυριτίου χρησιμοποιούνται για τη βαθμονόμηση της απόκρισης ακρίβειας μεγέθους των συστημάτων επιθεώρησης επιφανειακών σάρωσης (SSIS) χρησιμοποιώντας υψηλής ισχύος λέιζερ, όπως τα εργαλεία επιθεώρησης πλακών KLA-Tencor SP2, SP3, SP5, SP5xp και Hitachi. Ένα πρότυπο βάσης μόλυνσης εναποτίθεται με νανοσωματίδια διοξειδίου του πυριτίου για τη βαθμονόμηση των καμπυλών απόκρισης μεγέθους των συστημάτων επιθεώρησης των πλακιδίων χρησιμοποιώντας λέιζερ υψηλής ισχύος, σάρωσης, όπως KLA-Tencor SP5 και SPx. Τα σωματίδια πυριτίου είναι πιο ισχυρά από τα σφαιρίδια PSL σε σχέση με την ενέργεια του λέιζερ. Η ένταση λέιζερ των Συστημάτων επιθεώρησης επιφανειακής σάρωσης, όπως τα Surfscan SP1 και Surfscan SP2, χρησιμοποιούν λέιζερ χαμηλότερης ισχύος από τα νεότερα εργαλεία KLA-Tencor Surfscan SP3, SP5 και SPx, καθώς και τα συστήματα επιθεώρησης των πλακών από Hitachi. Όλα αυτά τα συστήματα επιθεωρήσεως των πλακιδίων χρησιμοποιούν πρότυπα βρόχων ρύπανσης εναποτιθέμενα με σφαίρες PSL ή σωματίδια SiO2 για τη βαθμονόμηση των καμπυλών απόκρισης μεγέθους αυτών των συστημάτων επιθεωρήσεως πλακών. Ωστόσο, καθώς η ισχύς του λέιζερ έχει αυξηθεί, τα σφαιρικά σωματίδια latex από πολυστυρένιο έχουν συσσωρευτεί κάτω από υψηλή ένταση λέιζερ, με αποτέλεσμα μια συνεχώς μειούμενη απόκριση μεγέθους λέιζερ με επαναλαμβανόμενες σαρώσεις λέιζερ του PSL Wafer Size Standard. Τα σωματίδια SiO2 και τα σφαιρίδια PSL είναι πολύ κοντά στον δείκτη διάθλασης. Όταν και οι δύο τύποι σωματιδίων εναποτίθενται πάνω σε ένα καπάκι πυριτίου πρώτης ύλης και σαρώνονται από ένα εργαλείο επιθεωρήσεως γκοφρέτας, η απόκριση μεγέθους λέιζερ των πυριτικών σίλικα και PSL σφαιριδίων είναι παρόμοια. Επειδή τα νανοσωματίδια πυριτίου μπορούν να αντέξουν μεγαλύτερη ενέργεια λέιζερ, η συρρίκνωση δεν αποτελεί ανησυχία για το σημερινό επίπεδο ισχύος λέιζερ που χρησιμοποιείται στα εργαλεία KLA-Tencor SP3, SP5 και SPx Surfscan. Ως αποτέλεσμα, μπορούν να χρησιμοποιηθούν πρότυπα για τα βαμβάκι με μόλυνση χρησιμοποιώντας πυρίτιο για να παραχθεί μια πραγματική καμπύλη απόκρισης μεγέθους σωματιδίων, η οποία είναι αρκετά παρόμοια με τα σφαιρίδια PSL. Έτσι, η βαθμονόμηση της απόκρισης μεγέθους σωματιδίων με τη χρήση σωματιδίων πυριτίου επιτρέπει τη μετάβαση από τα Πρότυπα Παρεμβάσεων PSL (για τα παλαιότερα και τα χαμηλότερης ισχύος συστήματα ελέγχου SSV) σε ένα Πρότυπο Παρελκόμενου με μόρια με χρήση νανοσωματιδίων διοξειδίου του πυριτίου για τα υψηλότερα εργαλεία SSIS. Παρελκόμενα για την πρόωρη ρύπανση Τα πρότυπα που έχουν τοποθετηθεί στη διάμετρο nano-meters 100 και παραπάνω ανιχνεύονται από το KLA-Tencor Surfscan SP1. Τα πρότυπα βάσης κάτω από τη διάμετρο σωματιδίων 100nm σαρώνονται από ένα KLA-Tencor Surfscan SP5 και το SP5xp

Έλεγχος της ρύπανσης από βαμβάκι, Επίθεση, Spot, 100nm

Τα πρότυπα βρομιάς από ρύπανση παρέχονται σε δύο τύπους εναποθέσεων: πλήρης εναπόθεση ή επιτόπια απόθεση, όπως φαίνεται παραπάνω.
Τα σωματίδια πυριτίου στο 100nm εναποτίθενται με δύο αποθέσεις σημείου παραπάνω.

Πλήρης εναπόθεση - Ζητήστε μια προσφορά

Οι διαχειριστές μετρολογίας στη βιομηχανία ημιαγωγών χρησιμοποιούν πρότυπα πλακών μολύβδου για τη βαθμονόμηση της ακρίβειας μεγέθους των εργαλείων SSIS. Οι διαχειριστές μετρολογίας μπορούν να καθορίσουν το μέγεθος της γκοφρέτας, τον τύπο εναπόθεσης (SPOT ή FULL), τον επιθυμητό αριθμό σωματιδίων και το μέγεθος των σωματιδίων για απόθεση. Ο αριθμός των σωματιδίων θα ήταν κατά κανόνα 5000 έως 25000 με βάση τις πλάκες πλήρους εναπόθεσης 200mm και 300mm. ενώ οι καταθέσεις SPOT θα είναι κατά κανόνα 1000 έως 2500 ανά κατατεθειμένο μέγεθος. Το πρότυπο βάφισμα μόλυνσης μπορεί να παραχθεί ως πλήρης εναπόθεση με μεγέθη που κυμαίνονται από 40nm έως 5 microns. Απλή απόθεση SPOT και απόθεση πολλαπλών SPOT είναι επίσης διαθέσιμη από τα 40nm έως τα 5 microns. Οι επιχρίσματα επιφανειακής απόθεσης έχουν το πλεονέκτημα ότι εναποθέτουν ένα μέγεθος 1 ή περισσότερα σωματίδια στον δίσκο πυριτίου πρώτης ύλης, που περιβάλλεται από καθαρή επιφάνεια δισκίου πυριτίου. Κατά την εναπόθεση πολλαπλών μεγεθών σωματιδίων σε ένα ενιαίο δίσκο, είναι πλεονεκτικό να αμφισβητήσετε το εργαλείο επιθεώρησης πλακιδίων σε ένα ευρύ φάσμα δυναμικών μεγεθών κατά τη διάρκεια μιας μοναδικής βαθμονόμησης σάρωσης και μεγέθους του εργαλείου επιθεώρησης πλακιδίων. Η πλήρης εναπόθεση, τα πρότυπα βαμβακερότητας έχουν το πλεονέκτημα της βαθμονόμησης του SSIS σε ένα μοναδικό μέγεθος σωματιδίων ενώ αμφισβητούν την SSIS για ομοιόμορφη επαλήθευση σάρωσης σε ολόκληρη την πλάκα σε μία μόνο σάρωση. Τα πρότυπα βαλβίδων βαθμονόμησης συσκευάζονται σε μονούς φελλούς και κανονικά αποστέλλονται τη Δευτέρα ή την Τρίτη για να φτάσουν πριν από το τέλος της εβδομάδας. Χρησιμοποιούνται γκοφρέτες πυριτίου 100mm, 125mm, 150mm, 200mm, 300mm και 450mm. 150mm Πρότυπα υπολείμματα ρύπανσης ή λιγότερο υποβάλλονται σε σάρωση χρησιμοποιώντας Tencor 6200, ενώ τα 200mm, 300mm σαρώνονται με SP1 Surfscan. Ένα πρότυπο πλακιδίων μολύβδου, το πιστοποιητικό μεγέθους παρέχεται με αναφορά στα Ανιχνεύσιμα Πρότυπα NIST. Τα μοτίβα και τα δισκία ταινιών, καθώς και οι κενές μάσκες φωτογραφιών, μπορούν επίσης να κατατεθούν για να δημιουργήσουν πρότυπα για την πρόκληση ρύπανσης.

Πρότυπο για βαμβάκι - 200mm, FULL DEP, 1.112 microns

Πρότυπο βάσης μόλυνσης, Πρότυπο βαθμονόμησης σωματιδίων - 300mm, ΠΛΗΡΗ ΚΑΤΑΘΕΣΗ, 102nm

Πρότυπο βάσης μόλυνσης, 300mm, ΥΠΕΡΒΟΛΗ ΥΠΟΣΤΗΡΙΞΗΣ: 125nm, 147nm, 204nm, 304nm, 350nm

Πρότυπο βάσης μόλυνσης με επιτόπου εναπόθεση - Ζητήστε μια προσφορά