Surf-Cal PSL σφαίρες, προμεγέθη, βαθμονόμηση μεγέθους SSIS

Σφαίρες PSL, λατέξ πολυστυρενίου, πρότυπα μεγέθους σωματιδίων Surf-Cal

Οι σφαίρες SURF-CAL PSL απλοποιούν την εργασία της προετοιμασίας γκοφρετών βαθμονόμησης στην εγκατάσταση σας παρέχοντας προ-αναμεμιγμένες σφαίρες PSL σε φιάλη 50ml. Τα μεγέθη των σωματιδίων αντιστοιχούν στα μεγέθη σημείων βαθμονόμησης που απαιτούνται από τους κατασκευαστές οργάνων. Οι συγκεντρώσεις σωματιδίων είναι σωματίδια 1 x 10 e10 ανά mL. Οι κατασκευαστές SEMI ζήτησαν συγκεκριμένα μεγέθη σωματιδίων που θα χρησιμοποιηθούν κατά τη βαθμονόμηση των συστημάτων επιθεώρησης επιφανειακής σάρωσης, τα οποία αναφέρονται επίσης στα εργαλεία επιθεώρησης των πλακιδίων. Σε συνεργασία με τους κατασκευαστές οργάνων, οι σφαίρες SURF-CAL PSL πληρούν τις πρότυπες προδιαγραφές SEMI M52 (3) και M53. Τα διαθέσιμα μεγέθη είναι κρίσιμοι κόμβοι μεγέθους όπως ορίζονται στον Διεθνή Χάρτη Πορείας για Τεχνολογίες Ημιαγωγών, ITRS (1).

Τοποθετώντας SURF-CAL, NIST ανιχνεύσιμες σφαίρες PSL (γυψοσανίδας πολυστερίνης) σε γυάλινες πλάκες πυριτίου και μοτίβο, μπορείτε να πραγματοποιείτε περιοδικούς ελέγχους βαθμονόμησης μεγέθους στα εργαλεία SSL KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS και να συγκρίνετε τον σαρωτή σας με σαρωτές άλλες τοποθεσίες. Μπορείτε επίσης να αξιολογήσετε την απόδοση της SSIS σας σε κρίσιμα στάδια της παραγωγικής διαδικασίας.

Όλα τα προϊόντα αιωρούνται σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό (DI νερό) σε φιάλες 50 mL σε συγκέντρωση σωματιδίων 3 x1010 ανά mL. Αυτές οι σφαίρες PSL έχουν ταξινομηθεί με τον Αναλυτή Διαφορετικής Κινητικότητας (DMA) ή άλλες τεχνικές αποκλεισμού μεγέθους.

Μέθοδος μέτρησης:

Για να διασφαλιστεί η ανιχνευσιμότητα NIST, οι πιστοποιημένες διάμετροι αυτών των προϊόντων μεταφέρθηκαν με ηλεκτρονικό σύστημα μετάδοσης ή οπτική μικροσκοπία από τυποποιημένα υλικά αναφοράς NIST (2). Η αβεβαιότητα υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας την τεχνική σημείωση NIST 1297, έκδοση 1994, "Οδηγίες για την αξιολόγηση και την έκφραση της αβεβαιότητας των αποτελεσμάτων μέτρησης NIST" (4). Η αναφερόμενη αβεβαιότητα είναι η διευρυμένη αβεβαιότητα με συντελεστή κάλυψης δύο (K = 2). Η διάμετρος κορυφής υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας περίπου το εύρος ± 2s της κατανομής μεγέθους σωματιδίων. Η κατανομή μεγέθους υπολογίστηκε ως η τυπική απόκλιση (SDS) ολόκληρης της κορυφής. Ο Συντελεστής Παραλλαγής (CV) είναι μία τυπική απόκλιση εκφρασμένη ως ποσοστό της μέγιστης διαμέτρου. Η κατανομή FWHM (πλήρες πλάτος στο μισό μέγιστο) υπολογίστηκε ως η κατανομή στο μισό του ύψους κορυφής εκφρασμένη ως ποσοστό της διαμέτρου κορυφής.

1. «Ο εθνικός οδικός χάρτης για τους ημιαγωγούς», Ένωση βιομηχανιών ημιαγωγών (1999)

2. SD Duke και EB Layendecker, «Μέθοδος εσωτερικής τυποποίησης για βαθμονόμηση μεγέθους των σφαιρικών σωματιδίων Sub-Micron με ηλεκτρονική μικροσκοπία», Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Οδηγός για την Καθορισμός Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών για Γκοφρέτες Σιλικόνης Η Παραγωγή Τεχνολογίας 130 nm.

4. Barry N. Taylor και Chris E. Kuyatt, «Κατευθυντήριες γραμμές για την αξιολόγηση και την έκφραση της αβεβαιότητας των αποτελεσμάτων μέτρησης NIST». NIST Τεχνική σημείωση 1297, έκδοση 1994, Σεπτέμβριος 1994.

 

Σύνθεση σωματιδίωνΠολυστερίνη Latex, PSL σφαίρες
ΣυγκέντρωσηX 3 1010 σωματίδια ανά mL
Πυκνότητα σωματιδίων1.05 g / cm3
Δείκτης διάθλασης1.59 @ 589nm (25 ° C)
Συμπληρώστε τον όγκο50 mL
ΠεριεχόμενοΜικροσφαιρίδια πολυστυρολίου σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό
Ημερομηνία λήξης≤ 12 μήνες

Αίτημα
ένα απόσπασμα

 

PSL σφαίρες, πρότυπα μεγέθους σωματιδίων SURF-CAL
Μέρος προϊόντος #Πιστοποιημένη διάμετρος κορυφήςΤυπική ΑπόκλισηCV και FWHMΣωματίδια ανά mL
AP PD-047B  47 nm4 nm7.5%, 17.4%1 x 10 e10
AP PD-064B  64 nm3 nm5.4%, 10.9%1 x 10 e10
AP PD-070B  72 nm5 nm7.2%, 16.2%1 x 10 e10
AP PD-080B  80 nm6 nm7.0%, 12.8%1 x 10 e10
AP PD-083B  83 nm4 nm4.2%. 9.6%1 x 10 e10
AP PD-090B  89 nm5 nm5.7%, 9.6%1 x 10 e10
AP PD-092B  92 nm4 nm4.6%, 9.1%1 x 10 e10
AP PD-100B  100 nm3 nm2.6%, 5.2%1 x 10 e10
AP PD-110B  114 nm4 nm3.3%, 6.3%1 x 10 e10
AP PD-125B  126 nm3 nm2.4%, 4.8%1 x 10 e10
AP PD-155B  155 nm 3 nm1.6%, 3.7%1 x 10 e10
AP PD-180B  184 nm4 nm2.2%, 3.9%1 x 10 e10
AP PD-200B  202 nm4 nm1.8%, 4.0%1 x 10 e10
AP PD-204B  204 nm4 nm1.8%, 3.7%1 x 10 e10
AP PD-215B 220 nm3 nm1.6%, 3.3%1 x 10 e10
AP PD-305B  304 nm4 nm1.4%, 3.4%1 x 10 e10
AP PD-365B  360 nm5 nm1.3%, 2.8%1 x 10 e10
AP PD-500B  498 nm10 nm2.0%, 5.0%1 x 10 e10
AP PD-800B  809 nm6 nm0.8%, 1.8%1 x 10 e10
AP PD-802B  802 nm9 nm1.1%, 2.4%1 x 10 e10
AP PD-1100B  1.112 μm11 nm1.0%, 2.5%1 x 10 e10