Surf-Cal PSL σφαίρες, προμεγέθη, βαθμονόμηση μεγέθους SSIS

Σφαίρες PSL, λατέξ πολυστυρενίου, πρότυπα μεγέθους σωματιδίων Surf-Cal

Οι σφαίρες SURF-CAL PSL απλοποιούν την εργασία της προετοιμασίας γκοφρετών βαθμονόμησης στην εγκατάσταση σας παρέχοντας προ-αναμεμιγμένες σφαίρες PSL σε φιάλη 50ml. Τα μεγέθη των σωματιδίων αντιστοιχούν στα μεγέθη σημείων βαθμονόμησης που απαιτούνται από τους κατασκευαστές οργάνων. Οι συγκεντρώσεις σωματιδίων είναι σωματίδια 1 x 10 e10 ανά mL. Οι κατασκευαστές SEMI ζήτησαν συγκεκριμένα μεγέθη σωματιδίων που θα χρησιμοποιηθούν κατά τη βαθμονόμηση των συστημάτων επιθεώρησης επιφανειακής σάρωσης, τα οποία αναφέρονται επίσης στα εργαλεία επιθεώρησης των πλακιδίων. Σε συνεργασία με τους κατασκευαστές οργάνων, οι σφαίρες SURF-CAL PSL πληρούν τις πρότυπες προδιαγραφές SEMI M52 (3) και M53. Τα διαθέσιμα μεγέθη είναι κρίσιμοι κόμβοι μεγέθους όπως ορίζονται στον Διεθνή Χάρτη Πορείας για Τεχνολογίες Ημιαγωγών, ITRS (1).

Τοποθετώντας SURF-CAL, NIST ανιχνεύσιμες σφαίρες PSL (γυψοσανίδας πολυστερίνης) σε γυάλινες πλάκες πυριτίου και μοτίβο, μπορείτε να πραγματοποιείτε περιοδικούς ελέγχους βαθμονόμησης μεγέθους στα εργαλεία SSL KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS και να συγκρίνετε τον σαρωτή σας με σαρωτές άλλες τοποθεσίες. Μπορείτε επίσης να αξιολογήσετε την απόδοση της SSIS σας σε κρίσιμα στάδια της παραγωγικής διαδικασίας.

Όλα τα προϊόντα αιωρούνται σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό (DI νερό) σε φιάλες 50 mL σε συγκέντρωση σωματιδίων 3 x1010 ανά mL. Αυτές οι σφαίρες PSL έχουν ταξινομηθεί με τον Αναλυτή Διαφορετικής Κινητικότητας (DMA) ή άλλες τεχνικές αποκλεισμού μεγέθους.

Μέθοδος μέτρησης:

Για να διασφαλιστεί η ανιχνευσιμότητα NIST, οι πιστοποιημένες διάμετροι αυτών των προϊόντων μεταφέρθηκαν με ηλεκτρονικό σύστημα μετάδοσης ή οπτική μικροσκοπία από τυποποιημένα υλικά αναφοράς NIST (2). Η αβεβαιότητα υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας την τεχνική σημείωση NIST 1297, έκδοση 1994, "Οδηγίες για την αξιολόγηση και την έκφραση της αβεβαιότητας των αποτελεσμάτων μέτρησης NIST" (4). Η αναφερόμενη αβεβαιότητα είναι η διευρυμένη αβεβαιότητα με συντελεστή κάλυψης δύο (K = 2). Η διάμετρος κορυφής υπολογίστηκε χρησιμοποιώντας περίπου το εύρος ± 2s της κατανομής μεγέθους σωματιδίων. Η κατανομή μεγέθους υπολογίστηκε ως η τυπική απόκλιση (SDS) ολόκληρης της κορυφής. Ο Συντελεστής Παραλλαγής (CV) είναι μία τυπική απόκλιση εκφρασμένη ως ποσοστό της μέγιστης διαμέτρου. Η κατανομή FWHM (πλήρες πλάτος στο μισό μέγιστο) υπολογίστηκε ως η κατανομή στο μισό του ύψους κορυφής εκφρασμένη ως ποσοστό της διαμέτρου κορυφής.

1. «Ο εθνικός οδικός χάρτης για τους ημιαγωγούς», Ένωση βιομηχανιών ημιαγωγών (1999)

2. SD Duke και EB Layendecker, «Μέθοδος εσωτερικής τυποποίησης για βαθμονόμηση μεγέθους των σφαιρικών σωματιδίων Sub-Micron με ηλεκτρονική μικροσκοπία», Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Οδηγός για την Καθορισμός Συστημάτων Επιθεώρησης Επιφανειών για Γκοφρέτες Σιλικόνης Η Παραγωγή Τεχνολογίας 130 nm.

4. Barry N. Taylor και Chris E. Kuyatt, «Κατευθυντήριες γραμμές για την αξιολόγηση και την έκφραση της αβεβαιότητας των αποτελεσμάτων μέτρησης NIST». NIST Τεχνική σημείωση 1297, έκδοση 1994, Σεπτέμβριος 1994.

 

Σύνθεση σωματιδίων Πολυστερίνη Latex, PSL σφαίρες
Συγκέντρωση X 3 1010 σωματίδια ανά mL
Πυκνότητα σωματιδίων 1.05 g / cm3
Δείκτης διάθλασης 1.59 @ 589nm (25 ° C)
Συμπληρώστε τον όγκο 50 mL
Περιεχόμενο Μικροσφαιρίδια πολυστυρολίου σε απιονισμένο, φιλτραρισμένο νερό
Ημερομηνία λήξης ≤ 12 μήνες

Αίτημα
ένα απόσπασμα

 

PSL σφαίρες, πρότυπα μεγέθους σωματιδίων SURF-CAL
Μέρος προϊόντος # Πιστοποιημένη διάμετρος κορυφής Τυπική Απόκλιση CV και FWHM Σωματίδια ανά mL
AP PD-047B   47 nm 4 nm 7.5%, 17.4% 1 x 10 e10
AP PD-064B   64 nm 3 nm 5.4%, 10.9% 1 x 10 e10
AP PD-070B   72 nm 5 nm 7.2%, 16.2% 1 x 10 e10
AP PD-080B   80 nm 6 nm 7.0%, 12.8% 1 x 10 e10
AP PD-083B   83 nm 4 nm 4.2%. 9.6% 1 x 10 e10
AP PD-090B   89 nm 5 nm 5.7%, 9.6% 1 x 10 e10
AP PD-092B   92 nm 4 nm 4.6%, 9.1% 1 x 10 e10
AP PD-100B   100 nm 3 nm 2.6%, 5.2% 1 x 10 e10
AP PD-110B   114 nm 4 nm 3.3%, 6.3% 1 x 10 e10
AP PD-125B   126 nm 3 nm 2.4%, 4.8% 1 x 10 e10
AP PD-155B   155 nm  3 nm 1.6%, 3.7% 1 x 10 e10
AP PD-180B   184 nm 4 nm 2.2%, 3.9% 1 x 10 e10
AP PD-200B   202 nm 4 nm 1.8%, 4.0% 1 x 10 e10
AP PD-204B   204 nm 4 nm 1.8%, 3.7% 1 x 10 e10
AP PD-215B  220 nm 3 nm 1.6%, 3.3% 1 x 10 e10
AP PD-305B   304 nm 4 nm 1.4%, 3.4% 1 x 10 e10
AP PD-365B   360 nm 5 nm 1.3%, 2.8% 1 x 10 e10
AP PD-500B   498 nm 10 nm 2.0%, 5.0% 1 x 10 e10
AP PD-800B   809 nm 6 nm 0.8%, 1.8% 1 x 10 e10
AP PD-802B   802 nm 9 nm 1.1%, 2.4% 1 x 10 e10
AP PD-1100B   1.112 μm 11 nm 1.0%, 2.5% 1 x 10 e10